溅射功率对ZAO薄膜性能的影响

万文琼

（景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系，景德镇，江西，333001）

摘要：溅射功率的大小决定了制膜沉积速度的快慢，溅射功率高薄膜沉积快，反之溅射功率低薄膜沉积慢。并且溅射功率的大小对薄膜光电特性和表面形貌也有很重要的影响。